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鏡面外觀缺陷檢測系統(tǒng)

SKU: FM-DVM

 技術參數:

Ø  缺陷最大檢測口徑300X200mm (覆蓋8寸晶圓,可訂制12寸晶圓機臺)

Ø  缺陷檢測分辨率最高0.5um

Ø  缺陷檢測類型: 麻點、劃痕、紋理、異色、破邊等

Ø  自動缺陷識別及尺寸量測

Ø  手動上下片,支持半自動和自動上下片的開發(fā)

Ø   技術特點

Ø  采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測

Ø  可以按照20/10、40/2060/40標準對缺陷進行量測判定

Ø  軟硬件可以按照實際樣品檢測需求進行訂制

可附帶增加檢測基片三維翹曲功能

◆ 測量實例

麻點和劃痕.jpg

       麻點和劃痕                      表面紋理

注意事項:
儀器成套性與可選購件可參考產品原頁面,本頁只提供儀器核心技術參數。
產品價格均含有商品運費(大陸地區(qū)除外)及發(fā)票的價格但是不包含工程師上門培訓及調試的費用。
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