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大平臺(tái)顯微激光拉曼光譜儀

產(chǎn)品介紹

     產(chǎn)品簡介：

   本儀器是一款可以對(duì)樣品進(jìn)行目鏡觀察、相機(jī)成像、拉曼光譜檢測以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。

儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺(tái)檢測顯微鏡等構(gòu)成。

特點(diǎn)：

1.全新的MX大平臺(tái)檢測顯微鏡，最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。

2.可以同時(shí)插入三個(gè)不同波長的拉曼光譜儀檢測模塊，并且可在軟件上進(jìn)行不同光譜儀間的切換，即可實(shí)現(xiàn)多波長拉曼的快速自動(dòng)檢測。

3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個(gè)波長，且可搭配不同性能的光譜儀，如非制冷、制冷、深度制冷等，以滿足客戶對(duì)不同樣品、檢測精度的不同需求。

4.若選配自動(dòng)平臺(tái)，還可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)點(diǎn)掃描進(jìn)行高光譜成像。

技術(shù)參數(shù)

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