美國Micro-VU Vertex系列測量儀

SKU: Vertex

技術(shù)參數(shù)

型號	Vertex251HM/HC	Vertex251UM/UC	Vertex311HM/HC	Vertex311UM/UC
XY 精度	Uxy=2.0+L/200	Uxy=1.8+L/200	Uxy=2.6+L/200	Uxy=2.0+L/200
Z 精度	Uz=2.0+L/150	Uz=2.0+L/150	Uz=2.0+L/150	Uz=2.0+L/150
XY 重現(xiàn)性	2.0μm	1.8μm	2.6μm	2.0μm
Z 重現(xiàn)性	2.0μm	2.0μm	2.0μm	2.0μm
XY 加速度	500mm/S2
Z 加速度	200mm/S2
XY 移動速度	250mm/s
Z 移動速度	100mm/s
光學尺分辨率	0.1μm
量測行程	250x160x160mm		315x315x160mm
外形尺寸	606x800x775mm		720x1085x1030mm
重量	120kg		150kg
承載重量	10kg		12kg
基座材質(zhì)	鋁合金
傳動方式	Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z
電控系統(tǒng)	伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標,搖桿
光學系統(tǒng)&放大倍率	6.5:1光學Zoom,20-390x	12:1光學Zoom,15-540x	6.5:1光學Zoom,20-390x	12:1光學Zoom,15-540x
影像&光源	紅光LED (黑白系統(tǒng))或白光 LED(彩色系統(tǒng))
軟件	InSpec for Windows Metrology Software
工作環(huán)境	20℃±2°,30-80% 濕度
備注	Vertex311系列可選擇加高型,Z軸250mm


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