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研究型明暗場金相顯微鏡CMY-500BD

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產(chǎn)品介紹

  CMY-500BD研究型明暗場金相顯微鏡是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的,可應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件、金屬、陶瓷部件、精密模具的檢測。本儀器采用了反射和透射兩種照明形式,在反射光照明下可進行明暗場觀察(選購DIC裝置)、偏光觀察。在透射光下作明場觀察。

技術(shù)參數(shù)

 

序 號

 

技術(shù)參數(shù)

1

平場目鏡

大視野 WF10X(Φ22mm)

2

無限遠長距平場明暗場物鏡

放大倍率:5X、10X、20X、40X(選購)、50X、100X(選購)

數(shù)值孔徑(N.A):0.1、0.25、0.40、0.6、0.55、0.9

工作距離(mm):29.4、16、10.6、5.45.1、4

3

總放大倍數(shù)

50X-500X

4

觀察頭

三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)

5

轉(zhuǎn)換器

DIC插孔四孔轉(zhuǎn)換器

6

粗微調(diào)調(diào)焦范圍

粗、微動同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動機構(gòu).微動格值0.002mm

7

載物臺

機械式載物臺,外形尺寸:: 189mm×160mm移動范圍:80mm×50mm

8

光瞳距離

50-75mm

9

濾色片

插板式濾色片(綠、藍、中性)

10

偏光裝置

偏鏡可360度轉(zhuǎn)動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

11

照明系統(tǒng)

透射照明:鹵素?zé)?span lang="EN-US">12V/50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)

射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素?zé)?span lang="EN-US">12V/50W,AC85V-230V, 亮度可調(diào)節(jié)

 

12

儀器重量

凈重11.0公斤    毛重12.5公斤

13

儀器尺寸

儀器尺寸44X45X42cm) 包裝尺寸45X50X50(cm)

可選購件

 

序號

名稱

技術(shù)參數(shù)

1

目鏡

16X(Φ11mm) 

2

測微目鏡

10X(Φ20mm)

3

平場無限遠長工作距離明暗場物鏡

平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:

80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm

4

物鏡測微尺

0.01mm

5

DIC微分干涉裝置

微分干涉相襯插板及物鏡

6

落射照明

鹵素?zé)?span lang="EN-US">12V/100W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié)

7

透射光源

底座可加透射光源6V20W獨立控制

2、攝像系統(tǒng)選購:

序號

名稱

參數(shù)及功能

1

CMOS數(shù)字攝像頭  

300萬、500萬、900萬、1400萬、1800萬(具有單張、定時采集圖像、錄像、顯示比例尺、測量、圖像拼接,融合等功能,并可以連接多媒體、打印、EMAIL等多種輸出方式。)

2

CCD數(shù)字攝像頭

140萬、200萬、500萬(具有單張、定時采集圖像、錄像、顯示比例尺、測量、圖像拼接,融合等功能,并可以連接多媒體、打印、EMAIL等多種輸出方式。)

3

高清模擬攝像頭

日本JVC、松下及國產(chǎn)品牌580線(具有單張、定時采集圖像,錄像,疊加比例尺、測量、連接多媒體,打印輸出等功能)

4

單反數(shù)碼相機

佳能、尼康、萊卡等千萬級以上像素單反相機(具有拍照、錄像等功能)

3、分析軟件選購:

序號

名稱

參數(shù)及功能

1

基本測量軟件JT-C

可單張、定時、連續(xù)采集;可顯示標(biāo)尺、放大倍數(shù);可對顯微圖像進行長度、角度、半徑、周長、面積等多種測量;可以連接多媒體、打印、EMAIL等多種方式輸出。

2

金相分析軟件JT-J

包含多達600項左右完全符合GBYB、JB、ASTM等標(biāo)準(zhǔn)自動評級項目,具有對金相圖像進行自動評級、圖譜比對、定標(biāo)測量、定倍打印、查看圖譜、輸出報表和圖像融合等多種功能。

3

礦相分析軟件JT-K

通過對顯微圖像的優(yōu)化著色處理及測量來對礦相進行定量分析??蓡螐?、連續(xù)采集;可顯示標(biāo)尺;可對顯微圖像進行長度、角度、半徑、周長、面積等多種測量;可以連接多媒體、打印、EMAIL等多種方式輸出。

4

粒度軟件JT-L

包含所有基本測量功能,提取并計算不同顏色圖像所占面積比例,可對視場內(nèi)顆粒自動測量分析,并可按顆粒的粒徑、面積、形狀等多類參數(shù)以線性或非線性統(tǒng)計方式輸出分布圖和積分分布圖,也可以得出D10、D50、D90等常用統(tǒng)計數(shù)據(jù)??梢赃B接多媒體、打印、EMAIL等多種方式輸出


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