CM120BD研究級12寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡 采用明暗場半復(fù)消物鏡，配置12寸大平臺，帶快速移動(dòng)裝置，配置有偏光裝置

序號

名稱

技術(shù)參數(shù)

1

平場目鏡

正像大場高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm

2

物鏡

無限遠(yuǎn)長工作距明場半復(fù)消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 （選購）

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購）

3

光學(xué)放大倍數(shù)

50X-500X（選購100倍物鏡后放大倍數(shù)25-1000X）

4

數(shù)碼放大倍數(shù)

75-3000X(搭配1200萬相機(jī)及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下)

5

觀察頭

鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

6

轉(zhuǎn)換器

5孔明暗場物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）.

7

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。

8

載物臺

12英寸載物臺，平臺面積 760*430mm，玻璃臺面310*418mm，移動(dòng)行程：300mmX300mm機(jī)械平臺，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置

9

晶圓轉(zhuǎn)臺

12寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺（選購）

10

偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

11

反射照明系統(tǒng)

明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，10W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心

13

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

14

攝像接口

0.65倍專用攝像接口

15

干涉組件

諾曼爾斯基微分干涉片（選購）

16

顯微鏡工業(yè)相機(jī)

高清1200萬顯微相機(jī) 或2000萬像素或自動(dòng)對焦相機(jī)（選購）

17

圖像處理軟件

拍照，錄像，測量，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合等（選購）

18

標(biāo)尺

高精度型測微尺，格值0.01m 總長1mm（選購）